burkert寶德熱式氣體質量流量控制器20001534相關介紹

8742型熱式氣體質量流量控制器*100nl/min,N?,鋁基座,G1/4寸,標定壓力2bar,4-20mA

控制器| N2 | 10000nl /min | 24v DC |內(nèi)螺紋- G1/4" | 4- 20ma

熱式氣體質量流量控制器（Thermal Mass Flow Controller, TMFC）是一種基于熱傳導原理實現(xiàn)氣體質量流量精準控制的設備，廣泛應用于半導體制造、化工、實驗室等領域。其核心優(yōu)勢在于不依賴溫度和壓力變化，直接測量質量流量。

工作原理

熱平衡原理

核心組件：

加熱絲：由鉑鎢合金制成，通電后產(chǎn)生恒定熱量。

溫度傳感器（如鉑電阻）：檢測加熱絲周圍溫度變化。

流體通道：氣體流動帶走加熱絲的熱量，導致溫度下降。

氣體流量越大，帶走的熱量越多，需增加功率維持溫度恒定。通過測量功率變化即可推算流量。

閉環(huán)控制

PID算法：實時比較設定流量與實際流量，調整閥門開度（如電磁閥或壓電閥）。

響應時間：<50ms（優(yōu)于壓差式流量計）。

結構特點

傳感器設計

毛細管繞絲：加熱絲和溫度傳感器纏繞在毛細管上，增大熱接觸面積。

雙元件補償：采用兩個對稱的傳感器，消除環(huán)境溫度干擾。

流量控制閥

電磁閥：適用于大流量范圍（如0-100 SLM）。

壓電閥：無機械運動部件，響應快（<10ms），適用于小流量（如0-10 SCCM）。

電子控制單元

微處理器：執(zhí)行PID計算、線性化修正和通信協(xié)議（如RS-485、Modbus）。

數(shù)字界面：支持本地顯示和遠程監(jiān)控（如流量設定、報警輸出）。

技術優(yōu)勢

高精度與穩(wěn)定性

精度：±1% FS（滿量程），重復性<0.2% FS。

溫壓補償：內(nèi)置壓力傳感器和溫度傳感器，自動修正環(huán)境參數(shù)影響。

寬量程與多氣體兼容

量程范圍：覆蓋μSLM（微升/分鐘）至數(shù)百SLM（標準升/分鐘）。

氣體兼容性：支持N?、Ar、O?等常見氣體，通過軟件校準切換氣體類型。

低維護性

無活動部件（壓電閥除外），壽命>5年。

自診斷功能：監(jiān)測傳感器污染、閥門堵塞等故障。

典型應用場景

半導體制造

工藝氣體控制：如CVD（化學氣相沉積）中的硅烷（SiH?）流量控制。

真空系統(tǒng)：監(jiān)測氬氣（Ar）在刻蝕工藝中的使用量。

化工與實驗室

反應釜進氣控制：精確配比反應氣體（如H?/O?）。

氣相色譜儀（GC）：作為載氣（如He、N?）的流量控制單元。

生物醫(yī)藥

發(fā)酵罐通氣控制：調節(jié)氧氣（O?）和二氧化碳（CO?）流量，優(yōu)化細胞培養(yǎng)環(huán)境。

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